https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/33395| Название: | Технология изготовления КМОП-транзисторов : учеб.-метод. пособие |
| Авторы: | Черных, А. Г. Мигас, Д. Б. Лешок, А. А. |
| Ключевые слова: | учебно-методические пособия;КМОП-транзисторы;КМОП-элементы |
| Дата публикации: | 2018 |
| Издательство: | БГУИР |
| Описание: | Черных, А. Г. Технология изготовления КМОП-транзисторов : учеб.-метод. пособие / А. Г. Черных, Д. Б. Мигас, А. А. Лешок. – Минск : БГУИР, 2018. – 71 с. : ил. |
| Аннотация: | Рассмотрены конструктивно-технологические особенности изготовления КМОП-транзисторов для ИМС. Определены физические ограничения и ключевые технологические процессы КМОП-элементов с проектными нормами менее 90 нм. Рассмотрены методы формирования КМОП-структур с high-k-диэлектриком и металлическим затвором, а также различные типы многозатворных МОП-транзисторов. |
| URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/33395 |
| ISBN: | 978-985-543-430-7. |
| Располагается в коллекциях: | Кафедра микро- и наноэлектроники |
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| Chernih_2018.pdf | 5.22 MB | Adobe PDF | Открыть |
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.