Ионно-плазменное формирование конденсаторных структур на основе танталата стронция-висмута для элементов сегнетоэлектрической энергонезависимой памяти

Please use this identifier to cite or link to this item: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/34178

Title:	Ионно-плазменное формирование конденсаторных структур на основе танталата стронция-висмута для элементов сегнетоэлектрической энергонезависимой памяти
Authors:	Окоджи, Д. Э.
Keywords:	авторефераты диссертаций;сегнетоэлектрики;танталат стронция-висмута;ВЧ магнетронное распыление
Issue Date:	2018
Publisher:	БГУИР
Citation:	Окоджи, Д. Э. Ионно-плазменное формирование конденсаторных структур на основе танталата стронция-висмута для элементов сегнетоэлектрической энергонезависимой памяти : автореф. дисс. ... кандидата технических наук : 05.27.06 / Д. Э. Окоджи ; науч. рук. Д. А. Голосов. - Минск : БГУИР, 2018. - 24 с.
URI:	https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/34178
Appears in Collections:	05.27.06 Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники

Files in This Item:

File	Description	Size	Format
avtoreferat_Okodzhi.pdf		1.75 MB	Adobe PDF	View/Open