https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/34308
Название: | Технологические модули и устройства программно-управляемого оборудования для производства изделий электроники. Лабораторный практикум : пособие |
Авторы: | Телеш, Е. В. Соловьев, Я. А. |
Ключевые слова: | публикации ученых;технологические модули;программно-управляемое оборудование |
Дата публикации: | 2019 |
Издательство: | БГУИР |
Описание: | Телеш, Е. В. Технологические модули и устройства программно-управляемого оборудования для производства изделий электроники. Лабораторный практикум : пособие / Е. В. Телеш, Я. А. Соловьев. – Минск : БГУИР, 2019. – 75 с. : ил. |
Аннотация: | Включает лабораторные работы по изучению различных преобразователей для измерения давления в вакуумных системах, современного оборудования для быстрого термического отжига, технологических модулей и устройств для нанесения тонких пленок в вакууме и ионного травления, торцевого холловского ускорителя для модификации поверхности полимеров. Предназначено для закрепления и углубления теоретических знаний студентов по учебной дисциплине «Программно-управляемое технологическое оборудование», получения практических навыков при работе с измерительным и исследовательским оборудованием. |
URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/34308 |
ISBN: | 978-958-543-442-0 |
Располагается в коллекциях: | Кафедра электронной техники и технологии |
Файл | Описание | Размер | Формат | |
---|---|---|---|---|
Telesh_2019.pdf | 4.15 MB | Adobe PDF | Открыть |
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.