| DC Field | Value | Language |
|---|
| dc.contributor.author | Телеш, Е. В. | - |
| dc.contributor.author | Соловьев, Я. А. | - |
| dc.date.accessioned | 2019-01-29T09:48:32Z | - |
| dc.date.available | 2019-01-29T09:48:32Z | - |
| dc.date.issued | 2019 | - |
| dc.identifier.citation | Телеш, Е. В. Технологические модули и устройства программно-управляемого оборудования для производства изделий электроники. Лабораторный практикум : пособие / Е. В. Телеш, Я. А. Соловьев. – Минск : БГУИР, 2019. – 75 с. : ил. | ru_RU |
| dc.identifier.isbn | 978-958-543-442-0 | - |
| dc.identifier.uri | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/34308 | - |
| dc.description.abstract | Включает лабораторные работы по изучению различных преобразователей для
измерения давления в вакуумных системах, современного оборудования для быстрого
термического отжига, технологических модулей и устройств для нанесения тонких
пленок в вакууме и ионного травления, торцевого холловского ускорителя для модификации поверхности полимеров.
Предназначено для закрепления и углубления теоретических знаний студентов
по учебной дисциплине «Программно-управляемое технологическое оборудование»,
получения практических навыков при работе с измерительным и исследовательским
оборудованием. | ru_RU |
| dc.language.iso | ru | ru_RU |
| dc.publisher | БГУИР | ru_RU |
| dc.subject | публикации ученых | ru_RU |
| dc.subject | технологические модули | ru_RU |
| dc.subject | программно-управляемое оборудование | ru_RU |
| dc.title | Технологические модули и устройства программно-управляемого оборудования для производства изделий электроники. Лабораторный практикум : пособие | ru_RU |
| dc.type | Учебные материалы | ru_RU |
| Appears in Collections: | Кафедра электронной техники и технологии
|
