Skip navigation
Please use this identifier to cite or link to this item: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/34358
Title: М – фактор как критерий качества технологического процесса изготовления полупроводниковых структур
Authors: Солодуха, В. А.
Петлицкий, А. Н.
Петлицкая, Т. В.
Пилипенко, В. А.
Ковальчук, Н. С.
Keywords: публикации ученых
вольт-амперная характеристика
примеси в кремнии
р-п переход
Issue Date: 2018
Publisher: Видавництво ТОВ "Рik-У", Украина
Citation: М – фактор как критерий качества технологического процесса изготовления полупроводниковых структур / В. А. Солодуха [и др.] // Сборник трудов VIII Украинской конференция по физике полупро-водников, Ужгород, 2 - 4 октября 201г. / Черновицкий национальный университет имени Юрия Федьковича. - Ужгород, 2018. - С. 447 - 448.
Abstract: Проведено моделирование зависимости m-фактора для несимметричного р–n перехода от времени жизни для различных концентраций носителей заряда в слабо и сильно легированных областях.
URI: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/34358
Appears in Collections:Публикации в изданиях других стран

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
Pilipenko_M-factor.PDF574,2 kBAdobe PDFView/Open
Show full item record


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.