https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/34358| Название: | М – фактор как критерий качества технологического процесса изготовления полупроводниковых структур |
| Авторы: | Солодуха, В. А. Петлицкий, А. Н. Петлицкая, Т. В. Пилипенко, В. А. Ковальчук, Н. С. |
| Ключевые слова: | публикации ученых;вольт-амперная характеристика;примеси в кремнии;р-п переход |
| Дата публикации: | 2018 |
| Издательство: | Видавництво ТОВ "Рik-У" |
| Описание: | М – фактор как критерий качества технологического процесса изготовления полупроводниковых структур / В. А. Солодуха [и др.] // Сборник трудов VIII Украинской конференция по физике полупро-водников, Ужгород, 2 - 4 октября 201г. / Черновицкий национальный университет имени Юрия Федьковича. - Ужгород, 2018. - С. 447 - 448. |
| Аннотация: | Проведено моделирование зависимости m-фактора для несимметричного р–n перехода от времени жизни для различных концентраций носителей заряда в слабо и сильно легированных областях. |
| URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/34358 |
| Располагается в коллекциях: | Публикации в зарубежных изданиях |
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| Pilipenko_M-factor.PDF | 574.2 kB | Adobe PDF | Открыть |
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.