https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/34434
Название: | Определение профиля зоны эрозии магнетронной распыленой системы |
Авторы: | Диас, Л. Роселина, А. Палмера, Д. Мигель, А. |
Ключевые слова: | материалы конференций;магнетронная распыленая систем;зона эрозии |
Дата публикации: | 2018 |
Издательство: | БГУИР |
Описание: | Определение профиля зоны эрозии магнетронной распыленой системы / Л. Диас [и др.] // Радиотехника и электроника : материалы 54-й научной конференции аспирантов, магистрантов и студентов, Минск, 23 - 27 апреля 2018 г. / Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники. - Минск, 2018. - С. 148. |
Аннотация: | Представлена математическая модель моделирования профиля эрозии в магнетронном распылении. Разработано модель основана на математическом описании функциитделится на 2 экспоненты и параболу. Для проверки предложенной модели были сделаны измерения алюминиевой мишени диаметра 100 мм и толщины 6 мм. Анализ результатов исследования показывает, что погрешность моделирования не превышает 20,0%. |
URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/34434 |
Располагается в коллекциях: | Радиотехника и электроника : материалы 54-й научной конференции аспирантов, магистрантов и студентов (2018) |
Файл | Описание | Размер | Формат | |
---|---|---|---|---|
Dias_Opredeleniye.PDF | 534.33 kB | Adobe PDF | Открыть |
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.