Skip navigation
Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/34435
Название: Пьезосенсор измерения толщины плёнок в процессе нанесения
Авторы: Федосенко, В. С.
Ключевые слова: материалы конференций
пьезоэлектрический метод
кварцевый измеритель толщины
Дата публикации: 2018
Издательство: БГУИР
Библиографическое описание: Федосенко, В. С. Пьезосенсор измерения толщины плёнок в процессе нанесения / В. С. Федосенко // Радиотехника и электроника : материалы 54-й научной конференции аспирантов, магистрантов и студентов, Минск, 23 - 27 апреля 2018 г. / Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники. - Минск, 2018. - С. 173 - 174.
Краткий осмотр (реферат): Пьезоэлектрическим методом, с использованием кварцевого измерителя ,контролируется и определяется толщина плёнок в процессе их нанесения. Для получение высококачественных пленок с заранее заданными и воспроизводимыми параметрами очень важен строгий контроль при их нанесении.
URI (Унифицированный идентификатор ресурса): https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/34435
Располагается в коллекциях:Радиотехника и электроника : материалы 54-й научной конференции аспирантов, магистрантов и студентов

Файлы этого ресурса:
Файл Описание РазмерФормат 
Fedosenko_Pyezosensor.PDF257,19 kBAdobe PDFПросмотреть/Открыть
Показать полное описание ресурса Просмотр статистики


Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.