Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс:
https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/34448
Название: | Метод получения субмикронных элементов в технологии лазерной бесшаблонной литографии |
Авторы: | Кукуть, Ю. М. |
Ключевые слова: | материалы конференций;субмикронные элементы топологии;бесшаблонная лазерная литография |
Дата публикации: | 2018 |
Издательство: | БГУИР |
Описание: | Кукуть, Ю. М. Метод получения субмикронных элементов в технологии лазерной бесшаблонной литографии / Ю. М. Кукуть // Радиотехника и электроника : материалы 54-й научной конференции аспирантов, магистрантов и студентов, Минск, 23 - 27 апреля 2018 г. / Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники. - Минск, 2018. - С. 153. |
Аннотация: | Разработан метод получения субмикронных элементов топологии в технологии бесшаблонной лазерной литографии. Метод основан на правилах модификации топологического слоя. |
URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/34448 |
Располагается в коллекциях: | Радиотехника и электроника : материалы 54-й научной конференции аспирантов, магистрантов и студентов (2018)
|
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.