https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/34454| Название: | Торцевой холловский источник ионов для асситирования осаждения |
| Авторы: | Палмера, Д. Мигель, А. Диас, Л. Роселина, А. |
| Ключевые слова: | материалы конференций;торцевой холловский источник;ионно-ассистированое осаждение |
| Дата публикации: | 2018 |
| Издательство: | БГУИР |
| Описание: | Торцевой холловский источник ионов для асситирования осаждения / Д. Палмера [и др.] // Радиотехника и электроника : материалы 54-й научной конференции аспирантов, магистрантов и студентов, Минск, 23 - 27 апреля 2018 г. / Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники. - Минск, 2018. - С. 164. |
| Аннотация: | Актуальной задачей тонкопленочной технологии является формирование качественных функциональных покрытий из диэлектрических и проводящих материалов для оптики и оптоэлектроники. На сегодняшний день представляются перспективными методы формирования пленок, основанные на ионной бомбардировке. Бомбардировка поверхности подложки ионами в процессе роста пленок называется ионно-ассистированым осаждением (ion beam assisted deposition - IBAD), и позволяет в широких пределах управлять свойствами наносимых слоев независимой регулировкой потоков материала и энергетических частиц на подложку. |
| URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/34454 |
| Располагается в коллекциях: | Радиотехника и электроника : материалы 54-й научной конференции аспирантов, магистрантов и студентов (2018) |
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| Palmera_Tortsevoy.PDF | 269.09 kB | Adobe PDF | Открыть |
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.