| Название: | Микроактюаторы, использующие энергию горения нанопористого кремния |
| Авторы: | Сычевич, А. С. |
| Ключевые слова: | материалы конференций;микроактюаторы;нанопористый кремний |
| Дата публикации: | 2018 |
| Издательство: | БГУИР |
| Описание: | Сычевич, А. С. Микроактюаторы, использующие энергию горения нанопористого кремния / А. С. Сычевич // Радиотехника и электроника : материалы 54-й научной конференции аспирантов, магистрантов и студентов, Минск, 23 - 27 апреля 2018 г. / Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники. - Минск, 2018. - С. 169 - 170. |
| Аннотация: | Горение нанопористого кремния с межпоровым пространством, заполненным твердотельным окислителем, исследовался с целью его использования в качестве источника энергии в микроэлектромеханических системах (МЭМС). Исследования показали, что в микросистемах с кремниевым чипом площадью 1,2 см2 может быть получен импульс 170 мН·с
за счет применения структуры состоящей из двух кристаллов кремниевых пластин. |
| URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/34462 |
| Располагается в коллекциях: | Радиотехника и электроника : материалы 54-й научной конференции аспирантов, магистрантов и студентов (2018)
|
