Электрофизические процессы и оборудование в технологии микро– и наноэлектроники

Достанко, А. П.; Русецкий, А. М.; Бордусов, С. В.; Ланин, В. Л.; Ануфриев, Л. П.; Карпович, С. В.; Жарский, В. В.; Плебанович, В. И.; Адамович, А. Л.; Грозберг, Ю. А.; Голосов, Д. А.; Завадский, С. М.; Соловьев, Я. А.; Дайняк, И. В.; Ковальчук, Н. С.; Петухов, И. Б.; Телеш, Е. В.; Мадвейко, С. И.

Please use this identifier to cite or link to this item: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/34871

Title:	Электрофизические процессы и оборудование в технологии микро– и наноэлектроники
Authors:	Достанко, А. П. Русецкий, А. М. Бордусов, С. В. Ланин, В. Л. Ануфриев, Л. П. Карпович, С. В. Жарский, В. В. Плебанович, В. И. Адамович, А. Л. Грозберг, Ю. А. Голосов, Д. А. Завадский, С. М. Соловьев, Я. А. Дайняк, И. В. Ковальчук, Н. С. Петухов, И. Б. Телеш, Е. В. Мадвейко, С. И.
Keywords:	монография;публикация ученых;микроэлектроника;электрофизические процессы;наноэлектроника
Issue Date:	2011
Publisher:	Бестпринт
Citation:	Электрофизические процессы и оборудование в технологии микро– и наноэлектроники: монография / А. П. Достанко [и др.] ; под ред. А. П. Достанко, А. М. Русецкого. – Минск: Бестпринт, 2011. – 210 с.: ил.
Abstract:	Рассмотрены и обобщены результаты исследований и разработок в области теории, технологии и оборудования для электрофизических методов обработки материалов изделий микро- и наноэлектроники.
URI:	https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/34871
Appears in Collections:	Публикации в изданиях Республики Беларусь

Files in This Item:

File	Description	Size	Format
Elektrofizicheskiye.pdf		10.87 MB	Adobe PDF	View/Open

Show full item record Google Scholar