Skip navigation
Please use this identifier to cite or link to this item: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/34993
Title: Особенности вертикального масштабирования при создании биполярных микросхем
Other Titles: Peculiarities of vertical scaling when creating bipolar microcircuits
Authors: Пилипенко, В. А.
Понарядов, В. В.
Горушко, В. А.
Шведов, В. С.
Сякерский, В. С.
Петлицкая, Т. В.
Pilipenko, V. A.
Ponaryadov, V. V.
Gorushko, V. A.
Shvedov, V. S.
Syakersky, V. S.
Petlitskaya, T. V.
Keywords: доклады БГУИР
быстрая термообработка
диэлектрик
Issue Date: 2010
Publisher: БГУИР
Citation: Особенности вертикального масштабирования при создании биполярных микросхем / В. А. Пилипенко [и др.] // Доклады БГУИР. - 2010. - № 4 (50). - С. 31 - 36.
Abstract: Показано, что использование быстрых термических обработок в технологическом процессе создания интегральных микросхем позволяет формировать мелкозалегающие p-n-переходы за счет уменьшения перераспределения внедренной примеси при данной обработке без ухудшения их электрических характеристик. Разработана конструкция формирования n-p-n- и p-n-p-транзисторов, позволяющая провести вертикальное масштабирование интегральных микросхем в два раза без изменения топологических норм их проектирования.It is shown, that application of the fast thermal treatments in the technological process of creation of the integrated microcircuits ensures formation of the shallow bulk p-n-junctions due to reduction of redistribution of the implanted impurity with the given processing without deterioration of their electric characteristics. The formation design is developed of the n-p-n- and p-n-p-transistors, making it possible to perform the two times vertical scaling of the integrated microcircuits without variation of the layout rated norms of their design development.
URI: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/34993
Appears in Collections:№4 (50)

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
Pilipenko_Peculiarities.PDF545,31 kBAdobe PDFView/Open
Show full item record


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.