| DC Field | Value | Language |
|---|
| dc.contributor.author | Солодуха, В. А. | - |
| dc.contributor.author | Пилипенко, В. А. | - |
| dc.contributor.author | Яковлев, В. П. | - |
| dc.date.accessioned | 2019-04-24T09:32:49Z | - |
| dc.date.available | 2019-04-24T09:32:49Z | - |
| dc.date.issued | 2019 | - |
| dc.identifier.citation | Солодуха, В. А. Роботизированная установка быстрой термической обработки для создания изделий электронной техники / В. А. Солодуха, В. А. Пилипенко, В. П. Яковлев // Доклады БГУИР. – 2019. – № 4 (122). – С. 92-97. | ru_RU |
| dc.identifier.uri | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/35043 | - |
| dc.description.abstract | Приведены конструктивные особенности автоматической установки быстрой термической
обработки кремниевых пластин диаметром 100 мм. Для нагрева в установке используются галогенные
лампы с вольфрамовой спиралью КГТ 220-2000-3 в количестве 12 штук, которые обеспечивают нагрев
пластины до 1200 о С со скоростью набора температуры 10–150 о С/с в течение 0,1−600 с. Предусмотрен процесс отжига как в вакууме, так и в различных газовых средах. Производительность установки с учетом загрузки пластины, создания вакуума в камере, напуска в камеру требуемого газа, термообработки по заданной программе и выгрузки составляет ≤ 60 пл./ч. | ru_RU |
| dc.language.iso | ru | ru_RU |
| dc.publisher | БГУИР | ru_RU |
| dc.subject | доклады БГУИР | ru_RU |
| dc.subject | камера отжига | ru_RU |
| dc.subject | длительность импульса | ru_RU |
| dc.subject | кремниевая пластина | ru_RU |
| dc.subject | равномерность нагрева | ru_RU |
| dc.title | Роботизированная установка быстрой термической обработки для создания изделий электронной техники | ru_RU |
| dc.title.alternative | Rapid thermal treatment robotics unit for creation of electronic equipment devices | ru_RU |
| dc.type | Статья | ru_RU |
| Appears in Collections: | №4 (122)
|
