https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/36229| Title: | Формирование мезопористого кремния в охлажденном электролите |
| Authors: | Гурбо, А. Д. Гревцов, Н. Л. Клименко, А. В. |
| Keywords: | материалы конференций;мезопористый кремний;электрохимическое анодирование |
| Issue Date: | 2019 |
| Publisher: | БГУИР |
| Citation: | Гурбо, А. Д. Формирование мезопористого кремния в охлажденном электролите / А. Д. Гурбо, Н. Л. Гревцов, А. В. Клименко // Радиотехника и электроника: 55-я юбилейная научная конференция аспирантов, магистрантов и студентов, Минск, 22-26 апреля 2019 г. / Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники. – Минск, 2019. – С. 175 – 176. |
| Abstract: | Методом электрохимического анодирования в электролите на основе фтористоводородной кислоты на кремниевых подложках электронного типа проводимости получены слои пористого кремния. Изучено влияние температуры электролита и плотности тока анодирования на скорость роста и пористость пористого кремния. |
| URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/36229 |
| Appears in Collections: | Радиотехника и электроника : материалы 55-й юбилейной научной конференции аспирантов, магистрантов и студентов (2019) |
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Gurbo_Formirovaniye.pdf | 458.11 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.