Skip navigation
Please use this identifier to cite or link to this item: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/36872
Title: FIB микроскопия, особенности и применение
Authors: Коротыш, И. Г.
Keywords: материалы конференций
фокусированный ионный пучок
FIB микроскопия
Issue Date: 2019
Publisher: БГУИР
Citation: Коротыш, И. Г. FIB микроскопия, особенности и применение / Коротыш И. Г. // Электронные системы и технологии : 55-я юбилейная конференция аспирантов, магистрантов и студентов, Минск, 22-26 апреля 2019 г. : сборник тезисов докладов / Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники. – Минск : БГУИР, 2019. – С. 155 – 156.
Abstract: FIB микроскопия (Focused ion beam, ФИП, Фокусированный ионный пучок) – это методика, аналогичная растровой электронной микроскопии, но использующая сфокусированный пучок ускоренных частиц с большей кинетической энергией – ионов вместо электронов, при этом разрешающая способность прибора составляет около 5 нанометров.
URI: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/36872
Appears in Collections:Электронные системы и технологии: 55-я юбилейная конференция аспирантов, магистрантов и студентов

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
Korotysh_FIB.pdf762,51 kBAdobe PDFView/Open
Show full item record


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.