| Title: | FIB микроскопия, особенности и применение |
| Authors: | Коротыш, И. Г. |
| Keywords: | материалы конференций;фокусированный ионный пучок;FIB микроскопия |
| Issue Date: | 2019 |
| Publisher: | БГУИР |
| Citation: | Коротыш, И. Г. FIB микроскопия, особенности и применение / Коротыш И. Г. // Электронные системы и технологии : 55-я юбилейная конференция аспирантов, магистрантов и студентов, Минск, 22-26 апреля 2019 г. : сборник тезисов докладов / Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники. – Минск : БГУИР, 2019. – С. 155 – 156. |
| Abstract: | FIB микроскопия (Focused ion beam, ФИП, Фокусированный ионный пучок) – это методика,
аналогичная растровой электронной микроскопии, но использующая сфокусированный пучок
ускоренных частиц с большей кинетической энергией – ионов вместо электронов, при этом
разрешающая способность прибора составляет около 5 нанометров. |
| URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/36872 |
| Appears in Collections: | Электронные системы и технологии : материалы 55-й юбилейной конференции аспирантов, магистрантов и студентов (2019)
|
