Skip navigation
Please use this identifier to cite or link to this item: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/36872
Full metadata record
DC FieldValueLanguage
dc.contributor.authorКоротыш, И. Г.-
dc.date.accessioned2019-10-25T08:42:12Z-
dc.date.available2019-10-25T08:42:12Z-
dc.date.issued2019-
dc.identifier.citationКоротыш, И. Г. FIB микроскопия, особенности и применение / Коротыш И. Г. // Электронные системы и технологии : 55-я юбилейная конференция аспирантов, магистрантов и студентов, Минск, 22-26 апреля 2019 г. : сборник тезисов докладов / Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники. – Минск : БГУИР, 2019. – С. 155 – 156.ru_RU
dc.identifier.urihttps://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/36872-
dc.description.abstractFIB микроскопия (Focused ion beam, ФИП, Фокусированный ионный пучок) – это методика, аналогичная растровой электронной микроскопии, но использующая сфокусированный пучок ускоренных частиц с большей кинетической энергией – ионов вместо электронов, при этом разрешающая способность прибора составляет около 5 нанометров.ru_RU
dc.language.isoruru_RU
dc.publisherБГУИРru_RU
dc.subjectматериалы конференцийru_RU
dc.subjectфокусированный ионный пучокru_RU
dc.subjectFIB микроскопияru_RU
dc.titleFIB микроскопия, особенности и применениеru_RU
dc.typeСтатьяru_RU
Appears in Collections:Электронные системы и технологии: 55-я юбилейная конференция аспирантов, магистрантов и студентов

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
Korotysh_FIB.pdf762,51 kBAdobe PDFView/Open
Show simple item record


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.