| Title: | Метод комбинированной фотохимически стимулированной обработки кремниевых пластин |
| Authors: | Тихон, О. И. |
| Keywords: | публикации ученых;межоперационная очистка;удаление фоторезиста;ультрафиолетовое излучение;озон |
| Issue Date: | 2019 |
| Publisher: | ГрГУ им. Я. Купалы |
| Citation: | Тихон, О. И. Метод комбинированной фотохимически стимулированной обработки кремниевых пластин / Тихон О. И. // Физика конденсированного состояния: материалы XXVII Международной научно-практической конференции аспирантов, магистрантов и студентов, Гродно, 18 апреля 2019 г. / Гродненский государственный университет имени Янки Купалы. – Гродно, 2019. – С. 178 – 180. |
| Abstract: | Фотохимически усиленный процесс очистки, основанный на использовании ультрафиолета с озоном (УФ/O3) в условиях атмосферного давления, характеризуется отсутствием радиационных повреждений сформированных структур ИС по сравнению с другими широко применяемыми методами сухой очистки, а относительная простота реализации позволяет данному методу обработки находить применение для решения ряда технологических задач микроэлектроники. |
| URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/37420 |
| Appears in Collections: | Публикации в изданиях Республики Беларусь
|
