https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/37804| Title: | Светодиодная ультрафиолетовая установка экспонирования с регулируемым временем экспозиции |
| Other Titles: | LED ultraviolet exposure unit with adjustable exposure time |
| Authors: | Челяпин, А. Е. Бегунов, П. С. Трофимов, Ю. В. Жавнерко, Г. К. |
| Keywords: | доклады БГУИР;УФ светодиоды;светодиодный облучатель;фотолитография;толстопленочный фоторезис |
| Issue Date: | 2019 |
| Publisher: | БГУИР |
| Citation: | Светодиодная ультрафиолетовая установка экспонирования с регулируемым временем экспозиции / А. Е. Челяпин [и др.] // Доклады БГУИР. – 2019. – № 7 (125). – С. 46-50. – DOI : http://dx.doi.org/10.35596/1729-7648-2019-125-7-46-50. |
| Abstract: | Исследованы возможности улучшения качества топологического рисунка при экспонировании толстопленочных фоторезистов за счет равномерного облучения ультрафиолетовыми светодиодами. Осуществлено моделирование оптических характеристик светодиодного линейного ультрафиолетового модуля. Установлена возможность равномерного облучения фоторезиста большой площади при перемещении узкой равномерно светящейся области экспонирования. Исследованы распределения энергетической освещенности УФ светодиодного модуля установки экспонирования с регулируемым временем экспозиции. Приведены результаты экспериментального исследования разработанного светодиодного ультрафиолетового фотолитографического облучателя с регулируемым временем экспонирования. |
| URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/37804 |
| Appears in Collections: | №7 Спецвыпуск (125) |
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Chelyapin_Svetodiodnaya.pdf | 1.29 MB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.