https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/38532| Title: | Инновационные технологии и оборудование субмикронной электроники |
| Authors: | Достанко, А. П. Аваков, С. М. Голосов, Д. А. Емельянов, В. В. Завадский, С. М. Колос, В. В. Ланин, В. Л. Мадвейко, С. И. Мельников, С. Н. Никитюк, Ю. В. Петлицкий, А. Н. Петухов, И. Б. Пилипенко, В. А. Плебанович, В. И. Солодуха, В. А. Соколов, С. И. Телеш, Е. В. Шершнев, Е. Б. |
| Keywords: | публикации ученых;инновации;технология;оборудование;субмикронные схемы;электроника |
| Issue Date: | 2020 |
| Publisher: | Беларуская навука |
| Citation: | Инновационные технологии и оборудование субмикронной электроники / А. П. Достанко [и др.] ; под ред. акад. НАН Беларуси А. П. Достанко. – Минск : Беларуская навука, 2020. – 260 с. |
| Abstract: | Рассмотрены и обобщены результаты исследований и разработок в области инновационных технологий и оборудования для микроэлектронного производства и диагностики структур полупроводниковой микроэлектроники. |
| URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/38532 |
| ISBN: | 978-98508-2521-6 |
| Appears in Collections: | Публикации в изданиях Республики Беларусь |
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Innovatsionnyye.pdf | 590.91 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.