Skip navigation
Please use this identifier to cite or link to this item: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/38532
Title: Инновационные технологии и оборудование субмикронной электроники
Authors: Достанко, А. П.
Аваков, С. М.
Голосов, Д. А.
Емельянов, В. В.
Завадский, С. М.
Колос, В. В.
Ланин, В. Л.
Мадвейко, С. И.
Мельников, С. Н.
Никитюк, Ю. В.
Петлицкий, А. Н.
Петухов, И. Б.
Пилипенко, В. А.
Плебанович, В. И.
Солодуха, В. А.
Соколов, С. И.
Телеш, Е. В.
Шершнев, Е. Б.
Keywords: публикации ученых
инновации
технология
оборудование
субмикронные схемы
электроника
Issue Date: 2020
Publisher: Беларуская навука, РБ
Citation: Инновационные технологии и оборудование субмикронной электроники / А. П. Достанко [и др.] ; под ред. акад. НАН Беларуси А. П. Достанко. – Минск : Беларуская навука, 2020. – 260 с.
Abstract: Рассмотрены и обобщены результаты исследований и разработок в области инновационных технологий и оборудования для микроэлектронного производства и диагностики структур полупроводниковой микроэлектроники.
URI: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/38532
ISBN: 978-98508-2521-6
Appears in Collections:Публикации в изданиях Республики Беларусь

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
Innovatsionnyye.pdf590,91 kBAdobe PDFView/Open
Show full item record


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.