| Title: | Комплексное моделирование планарных магнетронных распылительных систем и процессов нанесения тонких пленок металлов |
| Authors: | Мельников, С. Н. |
| Keywords: | авторефераты диссертаций;магнетронная распылительная система;магнетронный разряд;математическое моделирование |
| Issue Date: | 2019 |
| Publisher: | БГУИР |
| Citation: | Мельников, С. Н. Комплексное моделирование планарных магнетронных распылительных систем и процессов нанесения тонких пленок металлов: автореф. дисс. ... кандидата технических наук : 05.27.06 / С. Н. Мельников ; науч. рук. С. П. Кундас. – Минск : БГУИР, 2019. – 27 с. |
| Abstract: | Актуальной научной и практической задачей является
комплексное компьютерное моделирование и проектирование, как отдельных
высокоэффективных магнетронных распылительных систем, так и
технологических процессов нанесения тонких пленок, и систем магнетронно-
го распыления с различным взаимным расположением магнетронных распылительных систем относительно подложек, которые обеспечивают высокое качество наносимых пленок. Это
позволит сократить время и стоимость разработок, а также минимизировать
возможные ошибки при проектировании таких систем. |
| URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/38547 |
| Appears in Collections: | 05.27.06 Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники
|
