| DC Field | Value | Language |
|---|
| dc.contributor.author | Ковалевский, А. А. | - |
| dc.contributor.author | Строгова, А. С. | - |
| dc.contributor.author | Кузнецов, Д. Ф. | - |
| dc.contributor.author | Воронец, Я. С. | - |
| dc.contributor.author | Гранько, С. В. | - |
| dc.date.accessioned | 2020-02-21T07:22:08Z | - |
| dc.date.available | 2020-02-21T07:22:08Z | - |
| dc.date.issued | 2019 | - |
| dc.identifier.citation | Исследование влияния технеции в составе катализаторов из соединений РЗЭ на процесс разложения моногидридов кремния и германия / Ковалевский А. А. [и др.] // Микроэлектроника. – 2019. – Т.48, №5. – С. 323 – 333. – DOI: 10.1134/S0544126919050053. | ru_RU |
| dc.identifier.uri | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/38587 | - |
| dc.description.abstract | Статья посвящена установлению технеции в составе катализаторов из соединений РЗЭ на процесс разложения моногидридов кремния и германия при выращивании эпитаксиальных пленок кремния и твердого раствора кремний-германий. | ru_RU |
| dc.language.iso | ru | ru_RU |
| dc.publisher | ООО «ИКЦ «Академкнига» | ru_RU |
| dc.subject | публикации ученых | ru_RU |
| dc.subject | катализаторы | ru_RU |
| dc.subject | полиимидная мембрана | ru_RU |
| dc.subject | моногидриды | ru_RU |
| dc.subject | моносилан | ru_RU |
| dc.subject | эпитаксиальные пленки | ru_RU |
| dc.title | Исследование влияния технеции в составе катализаторов из соединений РЗЭ на процесс разложения моногидридов кремния и германия | ru_RU |
| dc.type | Статья | ru_RU |
| Appears in Collections: | Публикации в зарубежных изданиях
|
