https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/38957| Название: | Изучение морфологии поверхности ультратонких силицидов никеля методом атомно-силовой микроскопии |
| Авторы: | Щелкунов, А. В. |
| Ключевые слова: | материалы конференций;морфология поверхности;силицид никеля;атомно-силовая микроскопия |
| Дата публикации: | 2012 |
| Издательство: | БГУИР |
| Описание: | Щелкунов, А. В. Изучение морфологии поверхности ультратонких силицидов никеля методом атомно-силовой микроскопии / А. В. Щелкунов // Моделирование, компьютерное проектирование и технология производства электронных средств : материалы 48–ой научной конференции аспирантов, магистрантов и студентов, Минск, 7 – 11 мая 2012 г. / редкол.: М. П. Батура [и др.]. – Минск : БГУИР, 2012. – С. 106-107. |
| Аннотация: | Применение силицида никеля в качестве материала для современной микроэлектронной техники стало возможным благодаря совокупности таких его свойств, как: низкое удельное сопротивление, сравнительно низкая температура образования и др. Важно изучить влияние температуры отжига на морфологию поверхности ультратонких силицидов никеля, чтобы в дальнейшем выработать механизмы увеличения термической стабильности пленки силицида никеля. |
| URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/38957 |
| Располагается в коллекциях: | Моделирование, компьютерное проектирование и технология производства электронных систем : материалы 48-й научной конференции аспирантов, магистрантов и студентов (2012) |
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| Shchelkunov_Izucheniye.pdf | 475.96 kB | Adobe PDF | Открыть |
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.