Skip navigation
Please use this identifier to cite or link to this item: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/38957
Full metadata record
DC FieldValueLanguage
dc.contributor.authorЩелкунов, А. В.-
dc.date.accessioned2020-05-19T08:29:37Z-
dc.date.available2020-05-19T08:29:37Z-
dc.date.issued2012-
dc.identifier.citationЩелкунов, А. В. Изучение морфологии поверхности ультратонких силицидов никеля методом атомно-силовой микроскопии / А. В. Щелкунов // Моделирование, компьютерное проектирование и технология производства электронных средств : материалы 48–ой научной конференции аспирантов, магистрантов и студентов, Минск, 7 – 11 мая 2012 г. / редкол.: М. П. Батура [и др.]. – Минск : БГУИР, 2012. – С. 106-107.ru_RU
dc.identifier.urihttps://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/38957-
dc.description.abstractПрименение силицида никеля в качестве материала для современной микроэлектронной техники стало возможным благодаря совокупности таких его свойств, как: низкое удельное сопротивление, сравнительно низкая температура образования и др. Важно изучить влияние температуры отжига на морфологию поверхности ультратонких силицидов никеля, чтобы в дальнейшем выработать механизмы увеличения термической стабильности пленки силицида никеля.ru_RU
dc.language.isoruru_RU
dc.publisherБГУИРru_RU
dc.subjectматериалы конференцийru_RU
dc.subjectморфология поверхностиru_RU
dc.subjectсилицид никеляru_RU
dc.subjectатомно-силовая микроскопияru_RU
dc.titleИзучение морфологии поверхности ультратонких силицидов никеля методом атомно-силовой микроскопииru_RU
dc.typeСтатьяru_RU
Appears in Collections:Моделирование, компьютерное проектирование и технология производства электронных систем : материалы 48-й научной конференции аспирантов, магистрантов и студентов (2012)

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
Shchelkunov_Izucheniye.pdf475.96 kBAdobe PDFView/Open
Show simple item record Google Scholar

Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.