| Title: | Формирование переходных отверстий в кремниевых подложках 3D электронных модулей импульсным лазерным излучением |
| Authors: | Чан, Н. Д. |
| Keywords: | материалы конференций;формирование переходных отверстий;3D электронный модуль;импульсное лазерное излучение |
| Issue Date: | 2020 |
| Publisher: | БГУИР |
| Citation: | Чан, Н. Д. Формирование переходных отверстий в кремниевых подложках 3D электронных модулей импульсным лазерным излучением / Н. Д. Чан // Электронные системы и технологии : сборник тезисов докладов 56-ой научной конференции аспирантов, магистрантов и студентов БГУИР, Минск, 18 – 20 мая 2020 г. / Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники. – Минск, 2020. – С. 410-411. |
| Abstract: | Современная электроника интенсивно осваивает производство 3D электронных модулей, способных интегрировать несколько кристаллов на основе различных технологий в многоуровневый корпус. Конструкции 3D-модулей на кремниевой подложке обеспечивают электрические межсоединения микросхем с наружными выводами, а также теплоотвод и защиту от окружающей среды. |
| URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/40738 |
| Appears in Collections: | Электронные системы и технологии : материалы 56-й конференции аспирантов, магистрантов и студентов (2020)
|
