| Title: | Исследование микротвердости тонких пленок нитрида титана - алюминия |
| Authors: | Лам, Н. Н. |
| Keywords: | материалы конференций;микротвердость;пленки нитрида титана - алюминия |
| Issue Date: | 2020 |
| Publisher: | БГУИР |
| Citation: | Лам, Н. Н. Исследование микротвердости тонких пленок нитрида титана - алюминия / Н. Н. Лам // Электронные системы и технологии : сборник тезисов докладов 56-ой научной конференции аспирантов, магистрантов и студентов БГУИР, Минск, 18 – 20 мая 2020 г. / Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники. – Минск, 2020. – С. 346 - 347. |
| Abstract: | Проведены исследования микротвердости пленок нитрида титана-алюминия, нанесенных методом реактивного магнетронного распыления Ti-Al мозаичных мишеней с концентрацией алюминия 20%. Получена зависимость микротвердости от концентрации азота в Ar/N2 смеси газов процессе нанесения пленок. Для концентрации азота в пленке имеется оптимум, при котором достигается максимальная твердость. Максимальная твердость HK 23.5 ГПа получена для пленок состава Ti5AlN1.33, которые имели соотношение Ti/Al 5:1 и недостаток азота. |
| URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/40797 |
| Appears in Collections: | Электронные системы и технологии : материалы 56-й конференции аспирантов, магистрантов и студентов (2020)
|
