https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/410| Title: | Работа в среде пакета ATHENA для проектирования технологии интегральных микросхем : учеб. пособие по дисциплине “Основы САПР в микроэлектронике” для студентов специальностей I-41 01 02 “Микро- и наноэлектр. технологии и системы”, I-41 01 03 “Квант. информ. системы” всех форм обучения |
| Authors: | Нелаев, В. В. Стемпицкий, В. Р. |
| Keywords: | учебно-методические пособия;компьютерное моделирование;микроэлектроника;оболочка DECKBUILD;интегральные микросхемы;модуль ATHENA |
| Issue Date: | 2005 |
| Publisher: | БГУИР |
| Citation: | Нелаев, В. В. Работа в среде пакета ATHENA для проектирования технологии интегральных микросхем : учеб. пособие по дисциплине “Основы САПР в микроэлектронике” для студентов специальностей I-41 01 02 “Микро- и наноэлектр. технологии и системы”, I-41 01 03 “Квант. информ. системы” всех форм обучения / В. В. Нелаев, В. Р. Стемпицкий. – Минск : БГУИР, 2005. – 138 c. : ил. |
| Abstract: | В пособии приведены общие сведения о модуле ATHENA программного комплекса фирмы Silvaco для компьютерного моделирования, проектирования и оптимизации технологических процессов формирования приборов микроэлектроники, а также технологического маршрута изготовления интегральной схемы в целом. Описывается порядок работы в модуле ATHENA под управлением интерактивной оболочки DECKBUILD с многочисленными примерами, содержится подробное описание директив для выполнения задания на моделирование вместе с полным их списком. |
| URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/410 |
| Appears in Collections: | Кафедра микро- и наноэлектроники |
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Nelaev_2005.pdf | 2.76 MB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.