| DC Field | Value | Language |
|---|
| dc.contributor.author | Нелаев, В. В. | - |
| dc.contributor.author | Стемпицкий, В. Р. | - |
| dc.date.accessioned | 2014-07-12T12:25:20Z | - |
| dc.date.accessioned | 2017-07-17T07:47:47Z | - |
| dc.date.available | 2014-07-12T12:25:20Z | - |
| dc.date.available | 2017-07-17T07:47:47Z | - |
| dc.date.issued | 2005 | - |
| dc.identifier.citation | Нелаев, В. В. Работа в среде пакета ATHENA для проектирования технологии интегральных микросхем : учеб. пособие по дисциплине “Основы САПР в микроэлектронике” для студентов специальностей I-41 01 02 “Микро- и наноэлектр. технологии и системы”, I-41 01 03 “Квант. информ. системы” всех форм обучения / В. В. Нелаев, В. Р. Стемпицкий. – Минск : БГУИР, 2005. – 138 c. : ил. | ru_RU |
| dc.identifier.uri | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/410 | - |
| dc.description.abstract | В пособии приведены общие сведения о модуле ATHENA программного комплекса фирмы Silvaco для компьютерного моделирования, проектирования и оптимизации технологических процессов формирования приборов микроэлектроники, а также технологического маршрута изготовления интегральной схемы в целом. Описывается порядок работы в модуле ATHENA под управлением интерактивной оболочки DECKBUILD с многочисленными примерами, содержится подробное описание директив для выполнения задания на моделирование вместе с полным их списком. | ru_RU |
| dc.language.iso | ru | ru_RU |
| dc.publisher | БГУИР | ru_RU |
| dc.subject | учебно-методические пособия | ru_RU |
| dc.subject | компьютерное моделирование | ru_RU |
| dc.subject | микроэлектроника | ru_RU |
| dc.subject | оболочка DECKBUILD | ru_RU |
| dc.subject | интегральные микросхемы | ru_RU |
| dc.subject | модуль ATHENA | ru_RU |
| dc.title | Работа в среде пакета ATHENA для проектирования технологии интегральных микросхем : учеб. пособие по дисциплине “Основы САПР в микроэлектронике” для студентов специальностей I-41 01 02 “Микро- и наноэлектр. технологии и системы”, I-41 01 03 “Квант. информ. системы” всех форм обучения | ru_RU |
| dc.type | Book | ru_RU |
| Appears in Collections: | Кафедра микро- и наноэлектроники
|
