| Title: | Низкочастотный генератор для ионно-плазменной модификации материалов в плазме импульсного тлеющего разряда |
| Authors: | Солдатенко, А. В. |
| Keywords: | публикации ученых;ионно-плазменная обработка;импульсные разряды |
| Issue Date: | 2020 |
| Publisher: | Гомельский государственный университет имени Франциска Скорины |
| Citation: | Солдатенко, А. В. Низкочастотный генератор для ионно-плазменной модификации материалов в плазме импульсного тлеющего разряда / Солдатенко А. В. // Актуальные вопросы физики и техники : материалы IX Республиканской научной конференции студентов, магистрантов и аспирантов, Гомель, 23 апреля 2020 года : в 2 ч. / Гомельский государственный университет им. Франциска Скорины ; редкол.: Д. Л. Коваленко (гл. ред.) [ и др.]. – Гомель : ГГУ им. Ф. Скорины, 2020. – Ч. 1. – С. 131–133. |
| Abstract: | В связи с развитием микро- и наноэлектроники, развитии приборостроения и производства нового оборудования и инструментов, повышаются требования к материалам, использующимся в ходе производства, что приводит к разработке новых методов обработки материалов. Одним из важных направлений в обработке материалов, являются плазменные методы обработки материалов, позволяющие достигать заданных параметров обрабатываемых материалов и снизить затраты на производство различного оборудования для конкретного типа обработки. |
| URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/41495 |
| Appears in Collections: | Публикации в изданиях Республики Беларусь
|
