| DC Field | Value | Language |
|---|
| dc.contributor.author | Ефремов, В. А. | - |
| dc.contributor.author | Кулешов, А. А. | - |
| dc.contributor.author | Левченко, Н. В. | - |
| dc.date.accessioned | 2020-12-16T13:00:05Z | - |
| dc.date.available | 2020-12-16T13:00:05Z | - |
| dc.date.issued | 2010 | - |
| dc.identifier.citation | Ефремов, В. А. Ультразвуковая интенсификация формирования КНИ-структур / Ефремов В. А., Кулешов А. А., Левченко Н. В. // Технические средства защиты информации : тезисы докладов ХVIII Белорусско-российской научно-технической конференции, Браслав, 24–28 мая 2010 г. / редкол.: Л. М. Лыньков [и др.]. – Минск : БГУИР, 2010. – С. 120. | ru_RU |
| dc.identifier.uri | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/41784 | - |
| dc.description.abstract | Предложена кинетическая модель эволюции профиля распределения имплантированных атомов водорода в условиях внешней ультразвуковой и температурной обработки. В рамках ab-initio моделирования проведены расчеты энергии связи атомов водорода в кристаллической решетке кремния для оценки влияния ультразвука на процесс миграции атомов водорода в кремниевой подложке. | ru_RU |
| dc.language.iso | ru | ru_RU |
| dc.publisher | БГУИР | ru_RU |
| dc.subject | материалы конференций | ru_RU |
| dc.subject | информационная безопасность | ru_RU |
| dc.subject | КНИ-структуры | ru_RU |
| dc.subject | радиочастотная идентификация объекты | ru_RU |
| dc.title | Ультразвуковая интенсификация формирования КНИ-структур | ru_RU |
| dc.type | Статья | ru_RU |
| Appears in Collections: | ТСЗИ 2010
|
