| DC Field | Value | Language |
|---|
| dc.contributor.author | Ковалевский, А. А. | - |
| dc.contributor.author | Строгова, А. С. | - |
| dc.contributor.author | Строгова, Н. С. | - |
| dc.date.accessioned | 2021-01-13T06:35:02Z | - |
| dc.date.available | 2021-01-13T06:35:02Z | - |
| dc.date.issued | 2011 | - |
| dc.identifier.citation | Ковалевский, А. А. Особенности формирования германосиликатного стекла в процессе окисления пленок поликристаллического кремния, легированного германием / Ковалевский А. А., Строгова А. С., Строгова Н. С. // Технические средства защиты информации : тезисы докладов IХ Белорусско-российской научно-технической конференции, Минск, 28–29 июня 2011 г. / редкол.: Л. М. Лыньков [и др.]. – Минск : БГУИР, 2011. – С. 80. | ru_RU |
| dc.identifier.uri | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/42412 | - |
| dc.description.abstract | Проведены исследования топографии поверхности, кристаллической структуры плѐнок ПКК (Ge), полученных, разложением смеси моносилан – моногерман – водород. Этот процесс в сочетании с пост окислением рассматривался в качестве альтернативной, более «чистой» технологии, позволяющей сформировать нанокластеры германия и сплава кремний-германий отличные по структуре и размерах. | ru_RU |
| dc.language.iso | ru | ru_RU |
| dc.publisher | БГУИР | ru_RU |
| dc.subject | материалы конференций | ru_RU |
| dc.subject | кристаллические структуры | ru_RU |
| dc.subject | нанокластеры | ru_RU |
| dc.subject | нанопленки | ru_RU |
| dc.title | Особенности формирования германосиликатного стекла в процессе окисления пленок поликристаллического кремния, легированного германием | ru_RU |
| dc.type | Статья | ru_RU |
| Appears in Collections: | ТСЗИ 2011
|
