| Title: | Водные композиции наноразмерных частиц диоксида кремния для химико-механической полировки пластин монокристаллического кремния |
| Authors: | Косенок, Я. А. |
| Keywords: | авторефераты диссертаций;химико-механическая полировка пластин;монокристаллический кремний;наноразмерные частицы диоксида кремния |
| Issue Date: | 2019 |
| Publisher: | БГУИР |
| Citation: | Косенок, Я. А. Водные композиции наноразмерных частиц диоксида кремния для химико-механической полировки пластин монокристаллического кремния : автореф. дисс. ... кандидата технических наук : 05.16.08 / Я. А. Косенок ; науч. рук. В. Е. Гайшун. – Минск : БГУИР, 2019. – 28 с. |
| Abstract: | Быстрый рост производства полупроводниковых приборов и интегральных схем требует улучшения качества различных специфических материалов для электронной техники. При обработке полупроводниковых подложек для микроэлектроники особое внимание уделяется микрорельефу (шероховатости) поверхности. Основными требованиями, обеспечивающими пригодность подложки, являются высокое структурное совершенство и атомарная гладкость поверхности с параметрами шероховатости на уровне десятых долей нанометра. |
| URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/43162 |
| Appears in Collections: | 05.16.08 Нанотехнологии и наноматериалы (в электронике) (техническая и физико-математическая отрасли науки)
|
