| DC Field | Value | Language |
|---|
| dc.contributor.author | Емельянов, В. А. | - |
| dc.contributor.author | Пономарь, В. Н. | - |
| dc.contributor.author | Чигирь, Г. Г. | - |
| dc.date.accessioned | 2021-09-15T06:09:58Z | - |
| dc.date.available | 2021-09-15T06:09:58Z | - |
| dc.date.issued | 2005 | - |
| dc.identifier.citation | Емельянов, В. А. Цифровая оптическая микроскопия в производстве элементной базы для систем защиты информации / Емельянов В. А., Пономарь В. Н., Чигирь Г. Г. // Доклады БГУИР. – 2005. – № 5. – С. 73–74. | ru_RU |
| dc.identifier.uri | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/45295 | - |
| dc.description.abstract | В данной работе показана возможность использования оптических микроскопов улучшенной конструкции для обеспечения операционного контроля в технологии субмикронных микросхем. Для получения высококачественных оцифрованных изображений элементов сформирован цифровой оптический микроскоп на основе микроскопа ф. Leica INM100 с набором высокоразрешающих объективов PL APO (1,6×, 2,5×, 5×, 10×, 20×, 50×, 100×, 150×), прецизионным сканирующим столиком LSTEP13, цифровой камерой Polaroid DMC Ie с разрешением матрицы 1600×1200 пикселей, управляющим компьютером на платформе Windows с интерфейсом SCSI-II. | ru_RU |
| dc.language.iso | ru | ru_RU |
| dc.publisher | БГУИР | ru_RU |
| dc.subject | доклады БГУИР | ru_RU |
| dc.subject | оптические микроскопы | ru_RU |
| dc.subject | микросхемы | ru_RU |
| dc.subject | цифровая оптическая микроскопия | ru_RU |
| dc.subject | защита информации | ru_RU |
| dc.subject | информационная безопасность | ru_RU |
| dc.title | Цифровая оптическая микроскопия в производстве элементной базы для систем защиты информации | ru_RU |
| dc.type | Статья | ru_RU |
| Appears in Collections: | №5
|
