| DC Field | Value | Language |
|---|
| dc.contributor.author | Лыньков, Л. М. | - |
| dc.contributor.author | Жданович, С. В. | - |
| dc.contributor.author | Петров, Н. П. | - |
| dc.contributor.author | Богуш, В. А. | - |
| dc.coverage.spatial | Минск | - |
| dc.date.accessioned | 2021-11-11T06:50:10Z | - |
| dc.date.available | 2021-11-11T06:50:10Z | - |
| dc.date.issued | 1996 | - |
| dc.identifier.citation | Применение циркония и его окислов в технологии интегральных микросхем / Л. М. Лыньков [и др.] // // Современные технологии гибридных интегральных микросхем включая элементы сверхпроводниковой электроники : IV Международная научно-техническая конференция, Нарочь, 23-27 сентября 1996 г. / Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники ; редкол.: Л. М. Лыньков. – Нарочь, 1996. – С. 178–181. | ru_RU |
| dc.identifier.uri | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/45907 | - |
| dc.description.abstract | Анодный и термический Zr02 являются весьма перспективными материалами в технологии микроэлектроники, в частности крио-ИМС. Их применение позволяет создавать воспроизводимые по параметрам сверхпроводниковые микроструктуры, субмикронные элементы, что позволяет решить сложные технологические задачи микроэлектроники и создать качественно новые микроэлектронные структуры. | ru_RU |
| dc.language.iso | ru | ru_RU |
| dc.publisher | БГУИР | ru_RU |
| dc.subject | публикации ученых | ru_RU |
| dc.subject | сверхпроводниковые интегральные микросхемы | ru_RU |
| dc.subject | высокотемпературные сверхпроводники | ru_RU |
| dc.title | Применение циркония и его окислов в технологии интегральных микросхем | ru_RU |
| dc.type | Статья | ru_RU |
| Appears in Collections: | Публикации в изданиях Республики Беларусь
|
