https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/4872| Title: | Формирование пористого кремния методом импульсного электрохимического анодирования |
| Authors: | Чубенко, Е. Б. Редько, С. В. Шерстнев, А. И. Петрович, В. А. Бондаренко, В. П. |
| Keywords: | пористый кремний;импульсное электрохимическое анодирование;полупроводниковая пористая матрица |
| Issue Date: | 2015 |
| Publisher: | БГУИР |
| Citation: | Формирование пористого кремния методом импульсного электрохимического анодирования / Е. Б. Чубенко [ и др.] // Доклады БГУИР. - 2015. - № 3 (89). - С. 11 - 17. |
| Abstract: | Приведены результаты формирования слоев пористого кремния в пластинах монокристаллического кремния методом электрохимического анодирования с использованием импульсного гальваностатического режима. Установлены закономерности изменения структурных свойств пористого кремния в зависимости от параметров режимов формирования. Показано, что полученные данным методом слои пористого кремния характеризуются более однородной структурой, чем полученные в стационарном гальваностатическом режиме анодирования. В разработанных импульсных режимах сформированы матрицы пористого кремния с аспектным соотношением пор до 1:500. |
| URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/4872 |
| Appears in Collections: | №3 (89) |
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Chubenko_Formirovaniye.PDF | 1.23 MB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.