https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/49264| Title: | Лазерно-индуцированные теплофизические процессы в эпитаксиальных германий-кремниевых гетероструктурах |
| Other Titles: | Laser-induced thermophysical processes in epitaxial germanium-silicon Heterostructures |
| Authors: | Гацкевич, Е. И. Ивлев, Г. Д. Малевич, В. Л. |
| Keywords: | публикации ученых;германий;кремний;гетеростуктуры;лазерное облучение |
| Issue Date: | 2021 |
| Publisher: | БНТУ |
| Citation: | Гацкевич, Е. И. Лазерно-индуцированные теплофизические процессы в эпитаксиальных германий-кремниевых гетероструктурах=Laser-induced thermophysical processes in epitaxial germanium-silicon Heterostructures / Гацкевич Е. И., Ивлев Г. Д., Малевич В. Л. // Приборостроение-2021 : материалы 14-й Международной научнно-технической конференции, Минск, 17-19 ноября 2021 г. / Белорусский национальный технический университет ; редкол.: О. К. Гусев [и др.]. – Минск, 2021. – С. 393-395. |
| Abstract: | Изучено перераспределении элементов по глубине в эпитаксиальных GeSi слоях при облучении наносекундными импульсами рубинового лазера. Проанализировано влияние сегрегации на формирование ячеистых структур в неравновесных условиях импульсного воздействия. |
| Alternative abstract: | The redistribution of elements in epitaxial GeSi layers under irradiation with nanosecond pulses of a ruby laser has been studied. The effect of segregation on the formation of cellular structures under nonequilibrium conditions of impulse influence is discussed. |
| URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/49264 |
| Appears in Collections: | Публикации в изданиях Республики Беларусь |
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Malevich_Lazerno.pdf | 433.67 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.