| DC Field | Value | Language |
|---|
| dc.contributor.author | Лыньков, Л. М. | - |
| dc.contributor.author | Прудник, А. М. | - |
| dc.contributor.author | Болдышева, И. П. | - |
| dc.contributor.author | Белятко, Д. П. | - |
| dc.coverage.spatial | Минск | ru_RU |
| dc.date.accessioned | 2023-02-07T11:37:17Z | - |
| dc.date.available | 2023-02-07T11:37:17Z | - |
| dc.date.issued | 2005 | - |
| dc.identifier.citation | Способ обратной литографии : пат. 7220 Респ. Беларусь : МПК H 01L 21/033 / Лыньков Л. М., Прудник А. М., Болдышева И. П., Белятко Д. П. ; заявитель и патентообладатель УО Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники. – № a 19990582 ; заявл. 10.06.1999 ; опубл. 30.09.2005. – 2 с. | ru_RU |
| dc.identifier.uri | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/49890 | - |
| dc.description.abstract | Изобретение относится к области микроэлектроники и может быть использовано в производстве полупроводниковых микросхем. | ru_RU |
| dc.language.iso | ru | ru_RU |
| dc.publisher | Национальный центр интеллектуальной собственности | ru_RU |
| dc.subject | патенты | ru_RU |
| dc.subject | полупроводниковые микросхемы | ru_RU |
| dc.subject | микросхемы | ru_RU |
| dc.title | Способ обратной литографии | ru_RU |
| dc.title.alternative | Пат. 7220 Респ. Беларусь | ru_RU |
| dc.type | Other | ru_RU |
| Appears in Collections: | Изобретения
|
