https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/50192| Title: | Катодный узел |
| Other Titles: | А. с. 699032 СССР |
| Authors: | Достанко, А. П. Ширипов, В. Я. Шаталов, В. В. Бобков, В. А. |
| Keywords: | патенты;тонкие пленки;катодные узлы;мозаичные мишени |
| Issue Date: | 1979 |
| Publisher: | Государственный комитет СССР по делам изобретений и открытий |
| Citation: | Катодный узел : а. с. 699032 СССР : МПК 23 C 15/00 / Достанко А. П., Ширипов В. Я., Шаталов В. В., Бобков В. А. ; заявитель и патентообладатель Минский радиотехнический институт. – №2417324/18-21; заявл. 04.11.1976 ; опубл. 25.11.1979. – 4 с. : ил. |
| Abstract: | Изобретение относится к технике нанесения тонких пленок в вакууме и может быть использовано для осаждения на поверхности твердого тела пленок сложного состава путем ионного распыления. |
| URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/50192 |
| Appears in Collections: | Изобретения |
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Pat_699032.pdf | 174.98 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.