https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/50577| Title: | Способ контроля механических напряжений в полупроводниковой пластине |
| Other Titles: | А. с. 1087779 А СССР |
| Authors: | Лабунов, В. А. Квасов, Н. Т. Полонин, А. К. Корешков, Г. А. Прохоренко, Н. Л. Карпов, В. Е. |
| Keywords: | патенты;измерительная техника;полупроводниковые пластины |
| Issue Date: | 1984 |
| Publisher: | Государственный комитет СССР по делам изобретений и открытий |
| Citation: | Способ контроля механических напряжений в полупроводниковой пластине : а. с. 1087779 А СССР : МПК G 01 H 13/00 / Лабунов В. А., Квасов Н. Т., Полонин А. К., Корешков Г. А., Прохоренко Н. Л., Карпов В. Е. ; заявитель и патентообладатель Минский радиотехнический институт. – № 3558469/18-28 ; заявл. 24.02.1983 ; опубл. 23.04.1984. – 5 с. |
| Abstract: | Изобретение относится к измерительной технике и неразрушающему контролю физико-механических характеристик твердого тела и может быть использовано для определения механических напряжений, концентрации дефектов и глубины залегания примеси, внедряемой в полупроводниковую пластину. |
| URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/50577 |
| Appears in Collections: | Изобретения |
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Pat_1087779.pdf | 304.48 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.