Skip navigation
Please use this identifier to cite or link to this item: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/50659
Full metadata record
DC FieldValueLanguage
dc.contributor.authorЛабунов, В. А.-
dc.contributor.authorСокол, В. А.-
dc.contributor.authorМаев, А. А.-
dc.contributor.authorРадионов, А. А.-
dc.contributor.authorЕремин, А. П.-
dc.contributor.authorГусев, А. Ф.-
dc.contributor.authorЧмель, Е. А.-
dc.coverage.spatialМоскваru_RU
dc.date.accessioned2023-03-23T06:44:56Z-
dc.date.available2023-03-23T06:44:56Z-
dc.date.issued1984-
dc.identifier.citationУстройство для контроля и управления скоростью осаждения и толщиной тонких пленок при напылении : а. с. 1124258 А СССР : МПК G 05 B 23/02, G 01 R 33/12 / Лабунов В. А., Сокол В. А., Маев А. А., Радионов А. А., Еремин А. П., Гусев А. Ф., Чмель Е. А. ; заявитель и патентообладатель Минский радиотехнический институт. – № 3629091/24-24 ; заявл. 27.07.1983 ; опубл. 15.11.1984. – 11 с.ru_RU
dc.identifier.urihttps://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/50659-
dc.description.abstractИзобретение относится к микроэлектронике, в частности к устройствам для контроля и управления скоростью осаждения и управления скоростью осаждения и толщиной тонких пленок при напылении.ru_RU
dc.language.isoruru_RU
dc.publisherГосударственный комитет СССР по делам изобретений и открытийru_RU
dc.subjectпатентыru_RU
dc.subjectмикроэлектроникаru_RU
dc.subjectтонкие пленкиru_RU
dc.titleУстройство для контроля и управления скоростью осаждения и толщиной тонких пленок при напыленииru_RU
dc.title.alternativeА. с. 1124258 А СССРru_RU
dc.typeOtherru_RU
Appears in Collections:Изобретения

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
Pat_1124258.pdf608.35 kBAdobe PDFView/Open
Show simple item record Google Scholar

Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.