| DC Field | Value | Language |
|---|
| dc.contributor.author | Лабунов, В. А. | - |
| dc.contributor.author | Сокол, В. А. | - |
| dc.contributor.author | Можухов, А. А. | - |
| dc.coverage.spatial | Москва | ru_RU |
| dc.date.accessioned | 2023-04-04T07:05:03Z | - |
| dc.date.available | 2023-04-04T07:05:03Z | - |
| dc.date.issued | 1978 | - |
| dc.identifier.citation | Способ управления нанесением металлических пленок : а. с. 632991 СССР : МПК G 05 D 5/03 / В. А. Лабунов, В. А. Сокол, А. А. Можухов, А. А. Родионов ; заявитель и патентообладатель Минский радиотехнический институт. – № 2453661/18-24 ; заявл. 15.02.1977 ; опубл. 15.11.1978 – 2 с. : ил. | ru_RU |
| dc.identifier.uri | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/50857 | - |
| dc.description.abstract | Изобретение относится к области микроэлектроники, в частности к технологии изготовления гибридных интегральных схем и может быть использовано при создании проводящих и резистивных пленок. | ru_RU |
| dc.language.iso | ru | ru_RU |
| dc.publisher | Государственный комитет СССР по делам изобретений и открытий | ru_RU |
| dc.subject | патенты | ru_RU |
| dc.subject | микроэлектроника | ru_RU |
| dc.subject | интегральные схемы | ru_RU |
| dc.subject | проводящие пленки | ru_RU |
| dc.title | Способ управления нанесением металлических пленок | ru_RU |
| dc.title.alternative | А. с. 632991 СССР | ru_RU |
| dc.type | Other | ru_RU |
| Appears in Collections: | Изобретения
|
