https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/51171
Название: | Design and Performance of Amorphous Silicon Based on Uncooled Bolometer-Type Infrared Focal Plane Arrays |
Другие названия: | Конструкция и характеристики неохлаждаемых болометрических инфракрасных решеток на основе аморфного кремния |
Авторы: | Tran Van Trieu Stempitsky, V. R. Lovshenko, I. Yu. Korsak, K. V. Dao Dinh Ha |
Ключевые слова: | доклады БГУИР;uncooled microbolometer;infrared detector;thermo-sensing;amorphous silicon |
Дата публикации: | 2023 |
Издательство: | БГУИР |
Описание: | Design and Performance of Amorphous Silicon Based on Uncooled Bolometer-Type Infrared Focal Plane Arrays=Конструкция и характеристики неохлаждаемых болометрических инфракрасных решеток на основе аморфного кремния / Tran Van Trieu [et al.] // Доклады БГУИР. – 2023. – Т. 21, № 2. – С. 77-85. |
Аннотация: | Uncooled bolometric type thermal detectors, combined into a matrix and placed into a focal plane array have the following characteristics: low cost, operation at room temperature, compatibility with the silicon CMOS technology, and high detecting performance; therefore recently it became a hot spot in infrared or terahertz detection field. The performance of uncooled infrared focal plane detector arrays depends on the optimization of critical parameters which are determined by geometrical design and the electrical, optical, and thermal physical properties of the detector materials. We report the study of a fabrication process and characterization of two (2D) dimensional arrays of uncooled microbolometers based on silicon (α-Si) thermo-sensing films. Because these arrays substantially reduce sensor size, they are becoming the preferred format for most modern applications. |
Аннотация на другом языке: | Неохлаждаемые тепловые детекторы болометрического типа, объединенные в матрицу, размещенную в фокальной плоскости, в последнее время активно применяются в инфракрасном или терагерцовом поле обнаружения, поскольку обладают низкой стоимостью и высокой эффективностью обнаружения, совместимы с кремниевой КМОП-технологией, а также работают при комнатной температуре. Характеристики таких детекторов зависят от оптимизации критических параметров, которые определяются геометрической конструкцией, электрическими, оптическими и тепловыми свойствами применяемых материалов. В статье рассмотрены эксплуатационные характеристики пикселей двумерных массивов не охлаждаемых микроболометров на основе термочувствительных пленок аморфного кремния. Поскольку эти массивы значительно уменьшают размер сенсора, они становятся предпочтительным форматом для большинства современных приложений. |
URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/51171 |
DOI: | http://dx.doi.org/10.35596/1729-7648-2023-21-2-77-85 |
Располагается в коллекциях: | Том 21, № 2 |
Файл | Описание | Размер | Формат | |
---|---|---|---|---|
Tran_Design.pdf | 845.57 kB | Adobe PDF | Открыть |
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.