Skip navigation
Please use this identifier to cite or link to this item: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/51426
Full metadata record
DC FieldValueLanguage
dc.contributor.authorБондаренко, А. С.-
dc.contributor.authorИванов, И. А.-
dc.coverage.spatialМинскru_RU
dc.date.accessioned2023-05-17T11:31:09Z-
dc.date.available2023-05-17T11:31:09Z-
dc.date.issued2023-
dc.identifier.citationБондаренко, А. С. Влияние вращающегося диссектора в объемном резонаторе на равномерность нагрева СВЧ энергией кремниевой пластины = Influence of a rotating dissector in a cavity resonator on the uniformity microwave heating of silicon wafer / Бондаренко А. С., Иванов И. А. // Электронные системы и технологии : сборник материалов 59-й научной конференции аспирантов, магистрантов и студентов БГУИР, Минск, 17–21 апреля 2023 г. / Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники ; редкол.: Д. В. Лихаческий [и др.]. – Минск, 2023. – С. 551–553.ru_RU
dc.identifier.urihttps://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/51426-
dc.description.abstractПроведено моделирование нагрева полупроводниковой пластины в резонаторной камере СВЧ нагревательной системы. Показано, что наличие в камере вращающегося металлического диссектора может значительно повысить равномерность нагрева кремниевой пластины СВЧ энергией.ru_RU
dc.language.isoruru_RU
dc.publisherБГУИРru_RU
dc.subjectматериалы конференцийru_RU
dc.subjectполупроводниковые пластиныru_RU
dc.subjectкремниевые пластиныru_RU
dc.subjectдиссекторыru_RU
dc.titleВлияние вращающегося диссектора в объемном резонаторе на равномерность нагрева СВЧ энергией кремниевой пластиныru_RU
dc.title.alternativeInfluence of a rotating dissector in a cavity resonator on the uniformity microwave heating of silicon waferru_RU
dc.typeArticleru_RU
local.description.annotationSimulation of the heating of a semiconductor wafer in the resonator chamber of a microwave heating system is carried out. It is shown that the presence of a rotating metal dissector in the chamber can significantly increase uniformity of silicon wafer heating.ru_RU
Appears in Collections:Электронные системы и технологии : материалы 59-й конференции аспирантов, магистрантов и студентов (2023)

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
Bondarenko_Vliyanie.pdf1.75 MBAdobe PDFView/Open
Show simple item record Google Scholar

Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.