| Title: | Один из подходов к обеспечению качества эпитаксиального технологического процесса наращивания тонких монокристаллических слоев на подложку |
| Authors: | Демидов, Е. Д. |
| Keywords: | материалы конференций;монокристаллические подложки;эпитаксии;физика |
| Issue Date: | 2023 |
| Publisher: | БГУИР |
| Citation: | Демидов, Е. Д. Один из подходов к обеспечению качества эпитаксиального технологического процесса наращивания тонких монокристаллических слоев на подложку / Е. Д. Демидов // Информационные системы и технологии : сборник тезисов докладов 59-й научной конференции аспирантов, магистрантов и студентов, Минск, 17 - 23 апреля 2023 г. / Институт информационных технологий Белорусского государственного университета информатики и радиоэлектроники ; редкол.: М. Л. Маковский [и др.] – Минск, 2023. – С. 9 – 13. |
| Abstract: | В работе проведена оценка параметров эпитаксиального технологического процесса наращивания монокристаллических кремниевых пластин для повышения его качества. |
| URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/52034 |
| Appears in Collections: | Информационные системы и технологии : 59-я научная конференция аспирантов, магистрантов и студентов (2023)
|
