https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/527| Title: | Создание бесшаблонного производства СБИС |
| Authors: | Лабунов, В. А. Баранов, И. Л. Черных, А. Г. |
| Keywords: | бесшаблонная технология;лазерный генератор;минифабрика;вакуумная кластерная система;материалы конференций |
| Issue Date: | 2014 |
| Publisher: | БГУИР |
| Citation: | Лабунов, В. А. Создание бесшаблонного производства СБИС // Международная научно-техническая конференция, приуроченная к 50-летию МРТИ–БГУИР (Минск, 18–19 марта 2014 года) : материалы конф. В 2 ч. Ч. 2 / редкол. : А. Н. Осипов [и др.]. – Минск : БГУИР, 2014. - C.61-62 |
| Abstract: | Производство СБИС с индивидуальной обработкой пластин в вакуумной кластерной системе с использованием бесшаблонной технологии, реализуемой лазерным генератором изображений. |
| URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/527 |
| ISBN: | 978-985-543-038-5 |
| Appears in Collections: | Секция «Микро- и наноэлектроника» |
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| создание.pdf | 422.11 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.