| Title: | Прецизионные термостабильные резистивные и емкостные элементы интегральных микросхем на основе наноструктурированных пленок вентильных металлов и композиционных анодных металлоксидов |
| Other Titles: | Precision thermostable resistive and capacitive elements of integrated circuits based on nanostructured valve metal films and composite anodic metal oxides |
| Authors: | Плиговка, А. Н. |
| Keywords: | авторефераты диссертаций;электрохимическое анодирование;пористый оксид алюминия;оксид тантала;electrochemical anodization;porous anodic alumina;tantalum oxide |
| Issue Date: | 2013 |
| Publisher: | БГУИР |
| Citation: | Плиговка, А. Н. Прецизионные термостабильные резистивные и емкостные элементы интегральных микросхем на основе наноструктурированных пленок вентильных металлов и композиционных анодных металлоксидов: автореф. дисс. ... кандидата технических наук : 05.16.08 / А. Н. Плиговко; науч. рук. Г. Г. Горох. - Мн.: БГУИР, 2013. - 24 с. |
| Abstract: | Цель работы: установление закономерностей формирования металлоксидных пленок с островково-сетчатой и столбиково-матричной наноструктурой методом электрохимического анодирования тонкопленочной системы Al/Та, определение их морфологических, структурных и электрофизических характеристик, а также разработка на их основе конструкций и технологий изготовления прецизионных термостабильных резистивных и емкостных элементов интегральных микросхем. |
| Alternative abstract: | Objective: the establishment of ways of metal oxide film formation with island-grid and column-matrix nanostructures by electrochemical anodization of the bilayer Al/Та system, the determination of their morphological, structural, electrical proper-ties, and the development on their basis design and manufacturing technologies of pre-cision thermostable resistive and capacitive elements of integrated circuits |
| URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/5414 |
| Appears in Collections: | 05.16.08 Нанотехнологии и наноматериалы (в электронике) (техническая и физико-математическая отрасли науки)
|
