| DC Field | Value | Language |
|---|
| dc.contributor.author | Нгуен, Динь Туен | - |
| dc.coverage.spatial | Минск | en_US |
| dc.date.accessioned | 2024-02-15T06:49:45Z | - |
| dc.date.available | 2024-02-15T06:49:45Z | - |
| dc.date.issued | 2021 | - |
| dc.identifier.citation | Нгуен, Динь Туен. Формирование пленок оксида ванадия для неохлаждаемых приемников инфракрасного излучения реактивным магнетронным распылением : автореф. дисс. ... кандидата технических наук : 05.27.06 / Динь Туен Нгуен ; науч. рук. Д. А. Голосов. – Минск : БГУИР, 2021. – 21 с. | en_US |
| dc.identifier.uri | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/54272 | - |
| dc.description.abstract | Целью исследования является установление закономерностей и
разработка метода формирования тонких пленок оксида ванадия
высоковакуумным импульсным реактивным магнетронным распылением,
методов контроля и управления составом, структурой, электрофизическими
свойствами пленок, которые определяют возможность их использования в
качестве активных слоев неохлаждаемых микроболометрических приемников
излучения. | en_US |
| dc.language.iso | ru | en_US |
| dc.publisher | БГУИР | en_US |
| dc.subject | авторефераты диссертаций | en_US |
| dc.subject | тонкие пленки | en_US |
| dc.subject | электрофизические свойства | en_US |
| dc.subject | микроболометрические приемники | en_US |
| dc.title | Формирование пленок оксида ванадия для неохлаждаемых приемников инфракрасного излучения реактивным магнетронным распылением | en_US |
| dc.type | Thesis | en_US |
| Appears in Collections: | 05.27.06 Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники
|
