| DC Field | Value | Language |
|---|
| dc.contributor.author | Питкин, А. Б. | - |
| dc.date.accessioned | 2016-05-23T09:31:46Z | - |
| dc.date.accessioned | 2017-07-17T12:15:04Z | - |
| dc.date.available | 2016-05-23T09:31:46Z | - |
| dc.date.available | 2017-07-17T12:15:04Z | - |
| dc.date.issued | 2016 | - |
| dc.identifier.citation | Питкин, А. Б. Алгоритм идентификации объектов топологии микросхем на микроскопных изображениях слоев топологии СБИС / А. Б. Питкин // Компьютерные системы и сети : материалы 52-й научной конференции аспирантов, магистрантов и студентов, Минск, 25–30 апреля 2016 г. / Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники ; редкол.: В. А. Прытков [и др.]. – Минск, 2016. – С. 15–17. | ru_RU |
| dc.identifier.uri | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/6930 | - |
| dc.description.abstract | В процессе производства сверхбольших интегральных микросхем (СБИС), возможно появление дефектов на
топологических слоях. Такие дефекты возникают например в процессе переноса изображения или в процессе
фотолитографии. Автоматический контроль качества позволит в кратчайшие сроки выявлять различные дефекты. Идея
заключается в поиске заданных шаблонов известных дефектов, либо шаблонов с изображением эталонов элементов на
значительно большем изображении представляющем собой снимок слоя готовой микросхемы. | ru_RU |
| dc.language.iso | ru | ru_RU |
| dc.publisher | БГУИР | ru_RU |
| dc.subject | материалы конференций | ru_RU |
| dc.subject | дескрипторы | ru_RU |
| dc.subject | ключевые точки | ru_RU |
| dc.subject | тестирование | ru_RU |
| dc.title | Алгоритм идентификации объектов топологии микросхем на микроскопных изображениях слоев топологии СБИС | ru_RU |
| dc.type | Article | ru_RU |
| Appears in Collections: | Компьютерные системы и сети : материалы 52-й научной конференции аспирантов, магистрантов и студентов (2016)
|
