https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/7959| Title: | Плазменный синтез тонкопленочных покрытий в режиме ионно-пучкового фокуса : отчет о НИР (заключ.) |
| Authors: | Достанко, А. П. Телеш, Е. В. Тхостов, М. Х.-М. Титова, В. М. |
| Keywords: | отчеты о НИР;вторичный разряд;ионно-пучковый фокус;алмазоподобные пленки;ускоритель с анодным слоем;диоксид кремния;электрофизические характеристики |
| Issue Date: | 2015 |
| Publisher: | БГУИР |
| Citation: | Плазменный синтез тонкопленочных покрытий в режиме ионно-пучкового фокуса : отчет о НИР (заключ.) / БГУИР ; научный руководитель А. П. Достанко ; отв. исполнитель Е. В. Телеш . – Минск , 2015. – 58 с. - № ГР 20143818 |
| Series/Report no.: | № 14–3104; |
| Abstract: | В процессе выполнения НИР разработаны и исследованы процессы плазменного синтеза тонкопленочных покрытий их диоксида и нитрида кремния и алмазоподобного углерода. |
| Gov't Doc #: | № ГР 20143818 |
| URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/7959 |
| Appears in Collections: | Отчеты о НИР 2015 |
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| № ГР 20143818 (14-3104)_Рук_НИР_Достанко.pdf Restricted Access | 2.15 MB | Adobe PDF | View/Open Request a copy |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.